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兩部門:聚焦集成電路核心計量技術支撐 重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題

每日經濟新聞 2025-07-09 14:55:31

每經AI快訊,7月9日,市場監(jiān)管總局、工業(yè)和信息化部印發(fā)《計量支撐產業(yè)新質生產力發(fā)展行動方案(2025—2030年)》,面向集成電路產業(yè)發(fā)展需求,聚焦集成電路核心計量技術支撐,重點攻克扁平化量值傳遞等技術難題,突破晶圓級缺陷顆粒計量測試、集成電路參數(shù)標準芯片化、3D等先進封裝標準物質研制和12英寸晶圓級標準物質研制瓶頸,布局新型原子尺度計量裝置、標準和方法創(chuàng)新,圍繞幾何量、光學、熱學、電學等關鍵參量,突破晶圓溫度、真空、氣體檢測和微振動等集成電路計量技術,研究集成電路關鍵工藝參數(shù)在線計量方法,開展計量測試評價,形成服務集成電路的計量體系。

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