每日經(jīng)濟(jì)新聞 2025-11-12 12:21:10
每經(jīng)AI快訊，珂瑪科技在互動平臺表示，公司先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造（包括存儲芯片）前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備。截至目前，公司12英寸靜電卡盤已完成驗證并實現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，12寸多區(qū)加熱靜電卡盤已完成產(chǎn)品開發(fā)，公司正積極推進(jìn)其驗證進(jìn)程。
如需轉(zhuǎn)載請與《每日經(jīng)濟(jì)新聞》報社聯(lián)系。
未經(jīng)《每日經(jīng)濟(jì)新聞》報社授權(quán)，嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載或鏡像，違者必究。
讀者熱線：4008890008
特別提醒：如果我們使用了您的圖片，請作者與本站聯(lián)系索取稿酬。如您不希望作品出現(xiàn)在本站，可聯(lián)系我們要求撤下您的作品。
歡迎關(guān)注每日經(jīng)濟(jì)新聞APP
Copyright ? 2026 每日經(jīng)濟(jì)新聞報社版權(quán)所有，未經(jīng)許可不得轉(zhuǎn)載使用，違者必究。
廣告熱線? 北京: 010-57613265，?上海: 021-61283008，?廣州: 020-84201861，?深圳: 0755-83520159，?成都: 028-86512112
